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2010年5月アーカイブ

マイクロ真空計を開発

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この度、コーデンシのMEMS加工技術を活用し、極微小空間の真空度を計測が可能な、新しいタイプのセンサを開発いたしました。

本成果は、独立行政法人 科学技術振興機構の研究成果最適展開支援事業におけるシーズ発掘において、立命館大学との研究開発の成果として、得られたものです。

 真空計.JPG

特徴

超小型 (チップサイズ0.8mm×0.8mm)

簡単な測定回路

■低圧領域の測定が可能
 
考えられる用途
 

真空封止デバイスの信頼性評価

■微小空間の気圧測定

■従来の真空計の置換え

■その他

 

        小型パッケージ等、形状に関しては、ご相談ください。

        チップでのご提供もさせていただきます。

        Development Guide Sheetもあわせてご確認ください。

 

 ■マイクロ真空計に関するお問い合わせ先

   E-Mail:info-rd@kodenshi.co.jp

 

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